产品系列
研磨抛光
在半导体晶片抛光过程中,抛光时间短,要求抛光速率快,表面质量好,杂质残留少,避免影响功率器件性能与成品率。硅溶胶颗粒大小分布均匀,提供磨削作用的有效颗粒多,抛光速率快;硬度适中,分散性、流动性好,不易沉淀和结块造成晶片划伤;同时硅溶胶纯度高、低残留、易清洗,降低了晶片表面沾污的影响。
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